Ag合金膜形成用溅射靶及Ag合金膜、Ag合金反射膜、Ag合金导电膜、Ag合金半透明膜

作者：岁森悠人; 野中荘平

来源：2015-09-16, 中国, CN201480004766.5.

本发明涉及一种Ag合金膜形成用溅射靶、Ag合金膜、Ag合金反射膜、Ag合金导电膜及Ag合金半透明膜，该Ag合金膜形成用溅射靶的特征在于，具有如下组成：0.2原子％以上2.0原子％以下的Sb、0.05原子％以上1.00原子％以下的Mg，余量由Ag和不可避免杂质构成。

• 出版日期2015-9-16