摘要

随着微孔加工技术逐渐成熟,激光微孔加工应用越来约广泛,但依靠单一激光束进行微孔加工仍存在一些问题,尤其是在深孔加工方面,随后出现以激光束为主、多能量场辅助的复合打孔技术并逐渐成为了热点。针对液体辅助激光微孔加工研究领域,本文总结了水基辅助激光打孔、水基超声振动辅助激光打孔、水基超声-磁场辅助激光打孔和电解液/水射流辅助激光打孔等方法。在水基的基础上,加入了超声、磁场和温度场,辅助场变得多元化,在多层面上复合加工。介绍了不同辅助加工方法的去除材料机理以及加工后材料特性的变化,水起冷却作用,但在水层下会形成空化气泡,超声振动可以击溃气泡,磁场和温度场为材料残渣提供了能量,具体表现在热效应、材料去除速率、打孔深度、重铸层及裂纹等方面。微孔质量的影响因素有微孔的锥度、深径比、孔的圆度、重铸层厚度、热影响区、微裂纹和粗糙度等,文章中主要对微孔锥度、深径比和其他指标进行了分析,总结了加工方法对微孔质量的影响。