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A new emissive-probe method for electron temperature measurement in radio-frequency plasmas

作者：Kusaba Kouta; Shindo Haruo
来源：Review of Scientific Instruments, 2007, 78(12): 123503.
DOI：10.1063/1.2821200
  • 出版日期2007-12

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更新时间：2018-07-13 08:22