MTS/H_2体系CVD SiC的气相分析

作者：卢翠英; 成来飞; 赵春年; 张立同

来源：无机材料学报, 2010, (08): 845-850.

• GC/MS
• 气相分析
• CVD SiC
• MTS/H_2 GC/MS
• analysis of gaseous species
• CVD SiC
• MTS/H_2

采用CG/MS定性定量分析了MTS/H_2体系CVD SiC的气相组成,考察了沉积温度、总压和流量对气相组成的影响,从反应速率和分子浓度大小的角度出发,分析了MTS在H_2中的分解步骤.主要结论如下:(1)检测到CH_4、C_2H_6、C_2H_4、C_3H_6、C_2H_2、MTS、SiCl_4和CH_3SiHCl_2物质,其中CH_4和SiCl_4的含量较高.(2)体系温度、总压和总流量对气相组成有显著影响,其影响规律与热力分析结果一致.(3)MTS主要以Si-C键断裂引发分解反应,经历与原反应气反应、中间物质和副产物生成等主要阶段,CH_3→C_2H_6→C_2H_4→C_2H_2是生成...

• 出版日期2010
• 单位榆林学院; 西北工业大学