运用模糊理论探求蓝宝石晶圆研磨工艺参数与表面质量参数间的关系,获得优化参数以提高蓝宝石的超精密研磨加工效率和较高的表面质量。对蓝宝石的研磨工艺参数构建了三角形模糊逻辑模型,筛选出2组研磨优化参数组。通过实验结果表明,模糊算法获得的优化参数能提高蓝宝石的加工效率,改善研磨加工的表面质量。
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