摘要

本文通过对某洁净室温度场及洁净度在不同的送风量下的检测分析,得出了在全面地板回风的气流组织下,运行管理千级的洁净室时,可适当调低送风量以减小运行耗能,同时指出了采用洁净室内壁面温度作为控制参数来控制空调风柜运行会导致温度场控制不精确,室温波动较大,建议采用引入工作位室温参数来控制空调风柜运行,以减少运行能耗,防止室温波动过大。