纳米测量精度光栅传感器研究综述

作者：马修水; 费业泰; 陈晓怀; 李桂华; 权继平

来源：制造技术与机床, 2006, (09): 69-72.

• 光栅纳米测量
• 双光栅测量系统
• 炫耀光栅
• 误差修正技术
• 二次莫尔条纹 Nanometrology Measuring Based on Grating
• Measuring System of Dual Grating
• Blazed Grating
• Error Correction
• Two Times Moire&rsquo
• Fringe

概括分析了光栅纳米测量中双光栅测量系统、炫耀光栅测量系统、基于误差修正技术的光栅纳米测量系统、基于二次莫尔条纹原理的纳米光栅测量系统的测量原理,介绍了纳米测量精度光栅传感器研究的关键技术。

• 出版日期2006
• 单位安徽大学; 合肥工业大学; 浙江大学宁波理工学院