MEMS微陀螺仪研究进展

作者：成宇翔; 张卫平; 陈文元; 崔峰; 刘武; 吴校生

来源：微纳电子技术, 2011, (05): 277-285.

DOI：10.3969/j.issn.1671-4776.2011.05.001

• 微电子机械系统(MEMS)
• 惯性传感器
• 微陀螺仪
• 零偏漂移
• 角随机游走
• 悬浮转子式微陀螺 micro-electromechanical systems(MEMS)
• inertial sensor
• micro-gyroscope
• zero bias drift
• angle random walk
• micro levitated rotational gyroscope

回顾了MEMS微陀螺仪的研究进展,简单介绍了MEMS微陀螺仪的市场应用。微陀螺仪是MEMS器件中非常重要的一类器件。它的运用已经从单纯的航空领域逐渐转向汽车、消费电子行业等低端市场,这意味着微陀螺仪除了传统意义上的高精度高稳定性的要求,也可以向低精度商品化发展。传统的振动式陀螺,由于原理的局限性和加工技术的限制,很难达到战术级和惯性级的要求。导航级集成微陀螺(NGIMG)项目建议使用其他途径,以减少器件的可移动部件和降低工艺难度,从而提高其精度和抗干扰能力。各种设计方法近年来层出不穷,其中悬浮转子式微陀螺是目前精度最高的陀螺仪,微集成光学式陀螺也将在未来一段时间拥有巨大的研究潜力和发展空间。

• 出版日期2011
• 单位上海交通大学; 微米/纳米加工技术国家级重点实验室