为了解决传统离散点监测方法无法获取地表整体沉降量的问题，提出了一种基于外部DEM数据的工业区域地表沉降偏移跟踪监测方法。利用DEM数据对目标地区的主副影像进行配准，纠正由于地形因素所产生的偏差后通过归一化互相关算法确定地表沉降量。利用所提出的方法对某工业区域的Terra SAR-X影像进行处理，通过提取值与实测值的对比来比较两种方法的精度。结果表明，所提出的方法精度更高、误差更低、监测成本更低，具有更强的实用性。
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