DDL-500型多晶硅铸锭炉的开发与设计

作者：赵雪峰

来源：电子工业专用设备, 2013, (06): 17-20.

• 多晶硅铸锭炉
• 加热器
• 热场改进 Polysilicon Ingot Furnace
• Heating chamber
• Thermal insulation

在降低多晶硅成本及提高生产效率的前提下,对多晶硅铸锭炉进行了研究调查,通过对多晶硅铸锭炉结构进行改进,对热场等关键部位进行了重新的开发设计,提高了单炉单次的生产量,满足生产要求。

• 出版日期2013
• 单位中国电子科技集团公司第二研究所