一种铜锑硒太阳能电池光吸收层的双源共蒸发制备方法

作者：万磊; 许光磊; 张子硕; 周儒; 毛小丽; 牛海红; 王欢

来源：2023-06-06, 中国, ZL202310658825.1.

本发明公开了一种铜锑硒太阳能电池光吸收层的双源共蒸发制备方法,属于铜锑硒太阳能电池技术领域。操作步骤如下：在多源热蒸发镀膜系统的真空腔室中,采用两个阶段的共蒸发镀膜；第一阶段,将硒化亚铜的束源炉、硒化锑的束源炉和镀钼玻璃升温,并保持恒定,使三者同时达到目标温度；在镀钼玻璃的表面同时蒸发沉积硒化亚铜和硒化锑；第二阶段,停止蒸发硒化亚铜,继续保持原温度蒸发硒化锑；温度降至室温,得到厚度为1000nm的铜锑硒薄膜。本发明提高了真空腔室的内部洁净度,在较低的衬底温度下即可获得结晶性较好的铜锑硒薄膜,简化了共蒸发制备工艺,增加了铜锑硒薄膜沉积后的热退火处理工艺而获得较好的薄膜结晶性。

• 出版日期2023-6-6
• 单位合肥工业大学