薄膜电感测试原理及方法

作者：李喜玲; 乔亮; 郭党委

来源：实验技术与管理, 2015, 32(11): 47-61.

DOI：10.16791/j.cnki.sjg.2015.11.014

• 薄膜电感
• 矢量网络分析仪
• 探针台

微器件的测试是保证器件质量和发展的关键手段。介绍了由矢量网络分析仪与探针台结合组成的薄膜电感测试系统,详细讲述了薄膜电感的测试原理及方法,实验样品验证了方法的正确性和可行性。

• 出版日期2015
• 单位兰州大学