无线无源气体传感器的制备和测试

作者:郭晓威; 周天浩; 谭秋林; 郭彦杰; 张磊; 翟成瑞
来源:微纳电子技术, 2018, 55(03): 189-200.
DOI:10.13250/j.cnki.wndz.2018.03.008

摘要

介绍了氨气传感器的制备和测试,利用原位聚合法将聚苯胺以多壁碳纳米管为核心进行聚合反应制备出介电纳米复合材料,将制备的介电纳米复合材料喷涂到传感器上作为气体传感器的敏感层,从而制备了复合材料的氨气传感器。作为对照组,采用相同的方法制备了纯聚苯胺敏感材料,在聚合过程中未掺入多壁碳纳米管,制备了纯聚苯胺气敏材料的氨气传感器。实验结果表明,多壁碳纳米管的适量掺入有效提高了传感器的灵敏度。在最佳温度45℃下,复合材料的氨气传感器对体积分数为3×10-4的NH3的灵敏度为12.070 MHz,约为纯聚苯胺传感器的4.2倍。聚苯胺和多壁碳纳米管的介电纳米复合材料对NH3具有很好的选择性。

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