基于飞秒激光加工技术的仿壁虎足表面微结构制备方法

摘要

本发明涉及基于飞秒激光加工技术的仿壁虎足表面微结构制备方法。所述制备方法包括以下步骤：S1搭建飞秒激光加工平台。S2确定焦平面。S3设定标刻软件的工作参数，进行一次标刻。S4改变样品放置位置，进行二次标刻，获得仿壁虎足具有纤毛的微结构表面。S5调整标刻软件的工作参数，进行标刻，获得仿壁虎足具有纤毛的层状微结构表面。S6将仿壁虎足具有纤毛的层状微结构表面的样品沿垂直于第二位置的方向放置，经标刻，获得仿壁虎足具有纤毛的井字微结构表面。本发明的制备方法与物质作用烧蚀和溅射区域较小，受热效应影响小，可保持材料结构的完整性，加工精度高且操作性强。可精确、高效地制备得到材料结构完整性好的仿壁虎足表面微结构。

关键词