使用低能离子注入导致的量子阱混杂方法制作可集成的分布式Bragg反射激光器(英文)

作者：张靖陆羽赵玲娟周帆王宝军王鲁峰王圩

来源：Pan Tao Ti Hsueh Pao/chinese Journal of Semiconductors, 2004, (08): 894-897.

• 光子集成回路
• 分布式Bragg反射激光器
• 量子阱混杂
• 波长调谐 photonic integrated circuit
• distributed Bragg reflector laser
• quantum well intermixing
• wavelength tuning

采用量子阱混杂的方法制作了可集成的分布式 Bragg反射激光器 .通过同时控制相位区和光栅区的注入电流 ,该激光器的波长可以准连续地调谐 4 .6 nm .在整个调谐范围内 ,除了少数几个模式跳变点以外 ,激光器的单模特性保持良好 ,边模抑制比均达到了 30 d B以上

• 出版日期2004
• 单位中国科学院半导体研究所