电子束曝光机的畸变校正装置

作者：郑玉兰

来源：电工电能新技术, 1990, (03): 53-55+19.

• 畸变校正
• 校正过程
• 线性畸变
• 乘法数模转换器
• 桶形畸变
• 枕形畸变
• 梯形畸变
• 芯片面积
• 随机存储器
• 校正误差

本文简要介绍了扫描电子束曝光机中扫描场畸变的形式、校正原理、电路设计、校正过程及结果。

• 出版日期1990
• 单位中国科学院电工研究所