摘要
类金刚石(DLC)膜是一种含有大量sp3键的亚稳态非晶碳薄膜。类金刚石膜在化学、电学、热学、光学、生物相容性等方面具有良好性能,是微电子机械、医学、航空、汽车、光学等领域的理想材料,因而引起了人们极大兴趣,具有广阔的应用前景。简单介绍了DLC膜的结构、沉积法及在各个领域的应用与存在的问题。
- 出版日期2015
- 单位中国科学院海洋研究所; 青岛科技大学
类金刚石(DLC)膜是一种含有大量sp3键的亚稳态非晶碳薄膜。类金刚石膜在化学、电学、热学、光学、生物相容性等方面具有良好性能,是微电子机械、医学、航空、汽车、光学等领域的理想材料,因而引起了人们极大兴趣,具有广阔的应用前景。简单介绍了DLC膜的结构、沉积法及在各个领域的应用与存在的问题。