Fe-Si-Al薄膜超声喷涂技术研究

作者:李佳潞; 蔡军*; 杜英华; 贾萌; 字张雄; 潘攀; 陈辑
来源:真空电子技术, 2020, (02): 44-63.
DOI:10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2020.02.10

摘要

为抑制行波管振荡,本文研究了用超声喷涂技术制备衰减材料薄膜的方法。测试结果表明,超声喷涂法制备的衰减材料薄膜与手工涂覆相比,驻波比降低了16.3%,平均成膜厚度差减小了0.014 mm。因此采用超声喷涂技术重复性和稳定性更好,浆料利用率高,薄膜衰减材料表面均匀且颗粒分散性良好,具有更小的驻波比和反射系数,可在折叠波导中实现批量化生产。

  • 出版日期2020
  • 单位中国电子科技集团公司第十二研究所