一种MEMS麦克风结构及其制备方法

作者：贾仁需; 胡磊; 元磊; 张玉明

来源：2022-02-18, 中国, ZL202210153476.3.

本发明公开了一种MEMS麦克风结构及其制备方法,包括：麦克风本体；麦克风本体上设有第一电极通孔、第一电极安装槽、第二电极通孔和第二电极安装槽；第一电极通孔、第一电极安装槽和第二电极安装槽的侧壁上均覆盖有二氧化硅连接层；二氧化硅连接层表面平滑且为背向侧壁凸起的弧面。本发明的麦克风结构及其制备方法通过在第一电极通孔、第一电极安装槽和第二电极安装槽的侧壁上均覆盖有表面平滑的二氧化硅连接层,金属电极与二氧化硅连接层的接触面较为平滑,金属电极覆盖性较佳,避免金属电极连接发生断裂造成的器件失效,提升了器件制造良率。

• 出版日期2022-2-18
• 单位西安电子科技大学