本发明公开了一种基于激光破坏样品的残余气体分析装置,其包括样品室、分析室、全金属角阀、针阀、激光器、全量程真空计、冷阴极电离真空计、残余气体分析仪、分子泵组、带孔无氧铜板、氮气瓶、加热带、调压器、温度计、电源。本发明利用真空系统外置激光器破坏样品,具有准确、便捷、利于维持真空环境的优点。实验通过静态升压法和小孔流导法两种方法对待测样品内残余气体进行气量测试以及成分分析。
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