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使用扫描电子显微镜和X射线能谱仪测量镀金层厚度的方法研究
作者:贺占平; 周怡琳; 章继高
来源:
电子显微学报
, 2003, (06): 537-538.
能谱仪
扫描电子显微镜
束加速电压
背反射
标准样品
接触区
接触电阻
厚度测量
校准曲线
电磁透镜
出版日期
2003-12-25
单位
北京邮电大学
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