软X射线波段透射光栅检测系统

作者：李旭; 何飞; 陈波

来源：长春理工大学学报(自然科学版), 2012, (03): 50-53.

• 透射光栅
• 检测系统
• 空心阴极光源
• 软X射线 transmission grating
• measuring system
• helium hollow cathode source
• soft X-Ray

目前,透射光栅被广泛地应用于软X射线波段光谱测量当中。但由于在软X射线波段几乎所有材料都有非常明显的吸收,因此利用传统方法很难在该波段对透射光栅进行检测。为了检测透射光栅在软X射线波段的光谱分辨本领,我们基于掠入射理论,采用凹面反射光栅单色仪配X射线CCD相机组成一套软X射线波段透射光栅检测装置。首先利用He空心阴极光源的30.38nm、53.70nm和58.43nm三条线谱对透射光栅检测系统进行波长标定。然后更换激光等离子体光源,测量并得到了金自支撑式透射光栅在6.67nm和9.10nm两个波长位置上一级衍射位置和一级衍射光谱线宽度,利用半宽度法计算并得出在以上两个波长位置时被测透射光栅一级...

• 出版日期2012
• 单位中国科学院大学; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所