低温等离子体增强化学气相沉积法制备Ge反opal三维光子晶体及其光学性能

作者：李宇杰; 谢凯; 李效东; 许静; 韩喻; 杜盼盼

来源：Acta Physica Sinica, 2010, (03): 1839-1846.

• Ge反蛋白石(opal)光子晶体
• 低温等离子增强化学气相沉积
• 高分子材料
• 光子带隙 germanium inverse opal photonic crystal
• low temperature plasma enhanced chemic alvapour deposition
• macromolecule materials
• photonic band gap

通过溶剂蒸发对流自组装法制备SiO2三维有序胶体晶体模板,采用等离子体增强化学气相沉积法在200℃低温条件下填充高折射率材料Ge,获得了Ge反opal三维光子晶体.实现了低于GeH4热分解温度的低温填充.通过扫描电镜、X射线衍射仪和傅里叶变换显微红外光谱仪对Ge反opal的形貌、成分和光学性能进行了表征.结果表明:沉积得到无定型态Ge,退火后形成多晶Ge,Ge在SiO2微球空隙内填充致密均匀.Ge反opal的反射光谱有明显的光学反射峰,表现出光子带隙效应,其带隙中心波长为1650nm和2640nm,测试的光学性能与理论计算基本符合.采用SU-8光刻胶薄膜也进行了Ge沉积,证实了SU-8模板可以...

• 出版日期2010
• 单位中国人民解放军国防科学技术大学