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摘要
对Al掺杂的Zn O膜(AZO),一般是通过空心阴极气流溅射法,采用Zn-Al合金靶,将它沉积在玻璃上。溅射功率通常固定在1500 W,室温下,O2流量为3850 sccm,可沉积出电阻率0.81×10-31.1×10-3Ω·cm的AZO膜,沉积速率几乎恒定在270300 nm/min。此外,在200℃、O2流量为2550 sccm下,也能得到5.2×10-46.4×10-4Ω·cm的低电阻率AZO膜,且能达到200220 nm/min恒定沉积速率。两种膜在可见光范围内的透明度均在80%以上。
- 出版日期2014
- 单位中国科学院
