多晶硅锭定向凝固过程的数值模拟

作者：陈国红; 王滋渊; 肖益波; 瞿海斌

来源：电子工业专用设备, 2009, (06): 40-43+46.

• 多晶硅锭
• 定向凝固过程
• 热场
• 数值模拟 Polycrystalline silicon ingot
• Directional solidification process
• Thermal field
• Numerical simulation

研究了多晶硅锭定向凝固过程中晶体和熔体中的温度分布、固液界面的温度场,并对定向凝固过程进行了数值模拟,对热场对多晶硅晶体生长的影响进行了系统的理论分析和试验验证。

• 出版日期2009
• 单位中国电子科技集团公司第四十八研究所