摘要

使用基于嵌入式有限元质点网格与蒙特卡洛(IFE-PIC-MCC)的三维等离子体离子模拟程序,模拟离子在离子光学系统中的运动。计算了离子密度的空间分布,加速栅极上的冲击电流,加速栅极下游表面及孔壁的腐蚀。计算结果表明:加速栅极的腐蚀主要来源于交换电荷离子;由于交换电荷离子对加速栅极的冲击作用,加速栅极下游表面会形成"坑"形腐蚀,加速栅极孔壁会形成"凹槽"形腐蚀。数值仿真为离子光学系统的设计提供了有效手段。