一种动力学电感微带延迟线及制备方法

作者:黄文; 王康; 何晴; 赵昕翱; 敖成康; 汪晓佳; 廖育彬; 桑磊
来源:2021-09-06, 中国, CN202111039821.2.

摘要

本发明涉及一种动力学电感微带延迟线及制备方法,属于通信技术领域。包括介质基板;导带固定设于介质基板的一侧面上,所述导带的材料为溴插层石墨烯;接地板固定设于介质基板另一侧面上。本发明微带延迟线可以在提供较大延迟量的同时小型化,并且小型化的程度与工作频率以及材料的迁移率有关。本发明微带延迟线的制备操作步骤如下:(1)将高定向热解石墨切片成毫米大小,转移到介质基板上的一侧面作为样品,放入玻璃管中;(2)抽真空;(3)在溴气体中形成溴插层石墨烯导带材料层;(4)光刻导电材料层,形成在传输信号时具有动力学电感的微带延迟线。(5)在介质基板的另一侧面设置接地板。本发明的制备方法适合于批量生产。