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Antireflective surface with a step in the taper: Numerical optimization and large-area fabrication
作者：Shinotsuka Kei; Hongo Koki; Dai Kotaro; Hirama Satoru; Hatta Yoshihisa
来源：
Japanese Journal of Applied Physics
, 2017, 56(2): 022202.
DOI：10.7567/JJAP.56.022202
出版日期
2017-2
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