微波等离子体的研究已有三十多年的历史,近十年来的研究已使微波等离子体技术扎根于高技术新材料领域中。讨论了陶瓷微波等离子烧结技术、MPCVD制备金刚石薄膜和光导纤维、微波ECR制备纳米固体薄膜和微波刻蚀技术等。
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