薄膜体声波谐振器技术

作者：唐孝明; 唐高弟; 张海

来源：微纳电子技术, 2005, (08): 380-383.

• 微加工
• RF滤波器
• 薄膜体声波谐振器
• 微机械电子系统 micro-machining
• RF filter
• FBAR(film bulk acoustic resonator)
• MEMS

以微加工技术制作的薄膜体声波谐振器以及由它连接组成的滤波器为重点,介绍了其工作原理、结构模型以及相关参数,提出了一种薄膜体声波谐振器设计,并模拟了其构成射频带通滤波器的频率特性。

• 出版日期2005
• 单位中国工程物理研究院电子工程研究所