适用于电容式MEMS传感器的微小电容检测系统

作者：王宇; 张晓明; 白渚铨; 赵鑫炉

来源：电子技术应用, 2014, (05): 90-92+96.

DOI：10.16157/j.issn.0258-7998.2014.05.046

• 微小电容
• AD7747
• MEMS传感器
• STM32F405 tiny capacitors
• AD7747
• MEMS sensors
• STM32F405

针对电容式微机械陀螺测量困难的问题,设计了基于电容检测芯片AD7747和STM21F405单片机组合的微小电容检测系统。该系统主要包括I2C数据通信模块、串口通信模块、Flash存储模块以及单片机控制模块。最后通过实验来对其性能进行测试可得,该系统能够实现对微小电容的精确测量,分辨率可达1.6 fF,能够满足对电容式MEMS器件微弱信号的检测。

• 出版日期2014
• 单位中北大学