电子束、离子束、光子束纳米微细加工技术的进展

作者：葛璜

来源：仪器仪表学报, 1996, S1: 70-74.

• 微细加工技术
• 光子束
• 电子束加工
• 进展状况
• 抗蚀剂
• 光刻机
• 晶体材料
• 刻蚀技术
• 聚焦离子束
• 量子尺寸效应

简要评述电子束、离子束、光子束纳米微细加工技术的进展状况与新方法的探索。

• 出版日期1996
• 单位中国科学院半导体研究所