介绍一种用于半导体工业领域测量膜厚和表面轮廓的传感器，其分辨率达１ｎｍ 。经计量部门测试，测量范围为±１８０μｍ 时，线性度达０－４ ％ ＦＳ；量程分为四档：量程为１００ｎｍ 时，重复误差为２ ％ 。量程为５００ｎｍ 或１０００ｎｍ 时，重复误差为１％ 。量程为５０００ｎｍ 以上时，重复误差为零。传感器触针对工件的压力在０ ～０－５ｍＮ 间可调。
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