镀膜玻璃层结构及成分的俄歇电子能谱分析

作者：尹诗衡; 曹珍年; 谭春华

来源：现代科学仪器, 2001, (06): 60-62.

• 俄歇电子能谱仪
• 镀膜玻璃
• 深度剖析
• 膜厚 Auger elctron spectroscope
• filmed glass
• depth profile
• depth of a film

利用俄歇电子能谱仪测试了一种镀膜玻璃的表面层成分 ,并利用深度剖析的方法测试分析了其镀膜层的结构 ,估算了镀膜层的厚度。

• 出版日期2001
• 单位华南理工大学