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摘要
对多层独石式压电微位移器的陶瓷／内电极层界面进行扫描电子显微镜（ＳＥＭ）和扫描电声显微镜（ＳＥＡＭ）的无损观察，发现该界面在ＳＥＭ和ＳＥＡＭ下观察得到的像所给出的信息存在着很大差别。根据ＳＥＡＭ的成像原理、探针能谱分析（ＥＤＳ）以及器件本身陶瓷／内电极层间的层状结构形式，认为这种差异是由于器件在热压和烧结等制作过程中，陶瓷层和内电极层间不同的收缩率使得界面产生非均匀性力学性能而引起的，它与器件烧结时陶瓷与内电极间界面的残余热应力有关。该热应力也是器件烧成时陶瓷与内电极分层以及部分器件在加电压应用时沿界面产生分层现象的一个重要原因。
- 出版日期1998
- 单位中国科学院上海硅酸盐研究所
