可见光移相点衍射干涉仪的空气扰动误差分析

作者：张宇; 金春水; 马冬梅; 王丽萍

来源：红外与激光工程, 2012, (07): 1899-1904.

• 空气扰动误差
• 十三步移相算法
• 移相点衍射干涉仪
• 光学检测 air turbulence errors
• 13-step phase shifting algorithm
• phase shifting point diffraction interferometer
• optical testing

为了提高可见光移相点衍射干涉仪的测量精度,对空气扰动误差的分析以及有效的抑制是十分必要的。利用自行设计的十三步移相算法与传统的五步移相算法对空气扰动误差进行了理论分析与仿真计算,分析结果证明了新算法的优越性,并且通过对干涉仪的空气扰动误差的分析,最终得到了干涉仪工作的环境控制条件,如果采用十三步移相算法,保证空气温度变化控制在±0.005℃以内,压强变化控制在±1 Pa以内,水汽压变化控制在±5 Pa以内,温度梯度变化控制在0~0.01℃范围内,压强梯度变化控制在0~2 Pa范围内,最后再对多次测量结果取平均,则空气扰动误差引起的位相误差将在测量精度允许的范围内。在现有的实验条件下搭建了原理实...

• 出版日期2012
• 单位中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 应用光学国家重点实验室; 中国科学院研究生院