多晶硅铸锭配料技术研究

作者：张军彦

来源：轻工科技, 2013, (06): 44-45.

• 多晶硅铸锭
• 定向凝固
• 硼
• 电阻率

通过调整母合金中硼含量,达到调整P型多晶硅硅锭电阻率的目的。实践证明,所采用的配料方法能够将多晶硅锭电阻率按生产要求控制在1.5~2.5Ωcm,并使多晶硅锭电阻率符合预定规律。

• 出版日期2013
• 单位中国电子科技集团公司第二研究所