摘要

SiC因其优良性能被誉为新一代的半导体材料,本文利用Materials Studio对6H-SiC进行了建模,对6H-SiC的能带和态密度进行了分析,此外,以6H-SiC为衬底,进行Al元素掺杂,从微观机制,分析了6H-SiC的半导体导电性能.

  • 出版日期2017
  • 单位白城师范学院