不同沉积参量下ZrO_2薄膜的微结构和激光损伤阈值

作者：马平; 陈松林; 胡建平; 胡江川; 段立华; **; 邵建达; 范正修

来源：光学学报, 2005, (07): 994-998.

• 薄膜光学
• ZrO2薄膜
• X射线衍射
• 氧压
• 基体温度
• 激光损伤 <Keyword>thin film optics
• ZrO_2 thin film
• X-ray diffraction
• oxygen partial pressure
• substrate temperature
• laser damage

ZrO2是用于高抗激光损伤薄膜的重要材料,其结构及性能与沉积条件有很大关系。采用X射线衍射(XRD)技术分析了不同充氧条件和沉积温度对ZrO2薄膜组成结构的影响,并对不同工艺下制备的薄膜的表面粗糙度和激光损伤阈值进行了测量。结果发现随着氧压的升高,ZrO2薄膜将由单斜相多晶态逐渐转变为非晶态结构,而随着基片温度的增加,薄膜将由非晶态逐渐转变为单斜相多晶态。同时发现随着氧压升高晶粒尺寸减小,而随着沉积温度增加,晶粒尺寸增大。氧压增加时工艺对表面粗糙度有一定程度的改善,而沉积温度升高,工艺对表面粗糙度的改善不明显。晶粒尺寸大小变化与表面粗糙度变化存在对应关系。激光损伤测量表明,氧压条件和沉积温度对...

• 出版日期2005
• 单位中国科学院上海光学精密机械研究所; 成都精密光学工程研究中心