拟合阶次对基于多项式拟合的相位—高度映射关系的影响

作者：万安军; 赵勋杰

来源：光电技术应用, 2018, 33(03): 29-34.

• 多项式拟合
• 相位—高度映射
• 系统标定
• 相位测量轮廓术
• 三维重建

相位—高度映射系统标定对相位测量轮廓术三维重建与检测的精度起到决定性的作用,主要研究拟合阶次对基于多项式拟合的相位—高度映射系统标定精度的影响。通过16阶次的多项式拟合标定和三维高度重建,发现拟合阶次为14时可以取得较好的高度重建精度(绝对误差Δ<5μm)。对14阶次的多项式拟合标定系数进行进一步地研究分析,并发现当拟合阶次为2时,拥有较高的重建精度(绝对误差:Δ=1.36μm;相对误差:δ=1.34%)和稳定性(平均标准差:σ=0.262)。

• 出版日期2018