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摘要
本发明提出了一种集成MBE装置的激光加工系统,包括MBE生长室、样品台、光路机构、隔热机构和冷却机构,MBE生长室的一侧设有开口；样品台固定在MBE生长室的内部,且与开口的位置相对应,样品台用于放置衬底样品材料；光路机构相对设置于MBE生长室的一侧,且光路机构上设有出光端,出光端的一侧贯穿MBE生长室的开口并伸入其内部,并与样品台呈相对间隔设置,光路机构与MBE生长室的开口处密封连接,本系统将光路机构集成于MBE装置内,将光路机构集成到MBE装置内,采用激光直写的方式近距离对样品加工,提高了激光聚焦能力,有效保证了激光加工的精度和质量。
- 出版日期2023-5-29
- 单位武汉大学
