摘要

对包括温度、振动等精密、超精密研磨的环境支撑条件进行了实验与分析,指出精密研磨中研具、研磨剂选择应注意的事项,提出基于检测与研磨相互循环的大平面、长平面精密研磨方法,获得了稳定的000级1 000 mm×630 mm×150 mm大理石平板研磨水平。

  • 出版日期2012
  • 单位中国工程物理研究院机械制造工艺研究所