MEMS微弹簧力学特性分析

作者：张炜; 李华

来源：压电与声光, 2014, (03): 484-486.

• 微机电系统(MEMS)
• 微弹簧
• 最大应力
• 拉伸实验
• 可靠性 MEMS
• microspring
• the max stress
• the tensile experiment
• reliability

基于微机电系统(MEMS)工艺,设计并加工了一种"L"型微弹簧。根据经典材料力学理论进行的分析表明,在微弹簧竖直方向所受10mN力的作用下,微弹簧内部最大应力为88.75MPa,且最大应力位于连接处。有限元仿真表明在同等条件下,微弹簧的最大应力为89.326 MPa,与理论分析吻合。采用Tytron250拉伸实验机进行微弹簧拉伸实验,"L"型微弹簧的断裂位置位于连接处,实验结果验证了理论分析和仿真的正确性。在此基础上,提出增大微弹簧连接处的宽度是提高微弹簧作用可靠性的一条有效途径。

• 出版日期2014
• 单位桂林电子科技大学