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摘要
二维傅里叶变换法处理闭合条纹干涉图时,解调的相位含有符号突变。为矫正符号偏差,提出一种算法,通过一对正交的半侧低通滤波器得到4个含有符号突变的相位面,将其中符号正确的部分进行拼接以得到正确的相位分布。该方法计算量小,并且能有效避开符号突变位置的相位失真区域;选择了合适的滤波窗,并对干涉条纹圆心附近区域的相位进行单独低通滤波处理,使计算精度进一步提高。在算法的仿真实验中,处理了球差、像散、彗差3组典型的仿真干涉图,解调精度可优于λ/50;对实际干涉图进行了分析处理,并与Zygo移相干涉仪测试结果进行了比对,结果吻合较好。
- 出版日期2011
- 单位南京理工大学; 中国科学院光电技术研究所
