摘要

根据不同电流模式下金属-半导体界面的接触电阻表达式,结合端电阻,推导出不同接触电阻之间的关系式,进一步提出等间距传输线模型(以下简称SSTLM)的接触电阻测试法。该模型测量方便、计算精确,适用于等间距平行电极之间接触电阻的测量,特别适用于晶体硅太阳电池串联电阻的测试与分析。