SOI基光子晶体光波导

作者：唐海侠; 王启明

来源：半导体光电, 2006, (02): 103-107.

• SOI
• 光子晶体光波导
• 集成光路 SOI
• photonic crystal waveguide
• integrated optical circuit

光子晶体光波导由于其优越的光子局域化性能,因此可以实现任意的弯曲,从而大大减小了集成光路的体积。特别是以SOI材料为基础的光子晶体光波导以其小型化、低损耗的优势而备受人们的关注。介绍了几种类型的SOI基光子晶体光波导,并探索了其潜在的应用前景。

• 出版日期2006
• 单位中国科学院半导体研究所