PECVD生长垂直石墨烯的场发射特性研究

作者:叶志豪; 许坤*; 丁佩; 李艳; 田喜敏; 段向阳; 杨鹏; 李倩倩; 赵梦圆; 杜银霄; 陈雷明; 曾凡光
来源:半导体光电, 2022, 43(06): 1124-1129.
DOI:10.16818/j.issn1001-5868.2022080801

摘要

采用射频等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术,以甲烷为碳源,在金属铜箔上制备了三维垂直石墨烯。通过调节生长参数,进行了七组对比实验,利用扫描电子显微镜,拉曼光谱对垂直石墨烯的形貌、质量以及层数进行了表征,用二级结构的场发射仪器测试了垂直石墨烯的场发射特性,研究了垂直石墨烯的场发射特性与其形貌、质量和密度的关系,并获得了开启电场低至0.29 V/μm的场发射特性。研究结果表明,垂直石墨烯是一种良好的场发射材料,未来在真空电子源中具有广阔的应用前景。