电真空器件程控排气的研究

作者：米伦史愚砾石磊

来源：真空, 2003, (02): 54-56.

• 真空器件
• 程序排气
• 真空度 electrovacuum device
• exhaust controlled by program
• vacuum degree

简要介绍了应用单片机实现电真空器件的程控真空排气,优化了工艺,保证了真空排气工艺的一致性和稳定性,提高了产品的质量。其程控系统设计合理,抗干扰能力强,操作简便。

• 出版日期2003
• 单位中国工程物理研究院电子工程研究所