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摘要
本发明属于可拉伸半导体领域,具体涉及一种基于金属氧化物纳米纤维网络有源层的可拉伸薄膜晶体管及其制备方法。该方法首先在玻璃片上制备Al-2O-3牺牲层,随后采用静电纺丝法制备金属氧化物纳米纤维有源层,利用喷涂沉积源漏电极,然后采用牺牲层刻蚀转印法,将金属氧化物纳米纤维有源层和源漏电极包裹在高分子弹性体中,实现有源层的可拉伸性,最后相继沉积可拉伸介电层和栅电极,完成可拉伸薄膜晶体管的制备。其工艺简单可行,该制备方法工艺简单,兼容性高,成本低廉,能够制备出兼具较高电性能和拉伸性的可拉伸薄膜晶体管,便于大规模生产。
- 出版日期2021-6-1
- 单位华南理工大学
