分子蒸馏结合电喷雾质谱技术研究硅片切割液

作者：周永生; 王平; 顾浩

来源：太阳能学报, 2012, (10): 1747-1750.

• 分子蒸馏
• 电喷雾质谱
• 硅片切割液
• 聚乙二醇加合离子 wiped film molecular distillation
• electrospray ionization mass spectrometry
• cutting fluid for silicon wafer
• polyethylene glycol adducts

采用分子蒸馏技术对010型切割液进行分离,对分子蒸馏温度进行优化。当温度为80℃,刮板转速为300r/min,加料速率2mL/min,系统绝压20Pa时,分子蒸馏分离效果最佳。采用电喷雾质谱直接进样技术分析切割液各馏分,在正离子模式下,各组分可形成质子化分子或[M+NH4]+、[M+Na]+和[M+K]+等加合离子。以甲醇(1.0×10-3mol/L)-乙酸铵(90∶10 v/v)(流动相Ⅰ)为流动相时,[M+H]+、[M+NH4]+、[M+Na]+和[M+K]+4种PEG加合离子相对丰度均增加,[M+NH4]+峰增加尤为明显。对80℃分子蒸馏轻、重组分和PEG200进行电喷雾质谱表征时,以甲...

• 出版日期2012
• 单位常州大学